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成果名称	主要完成人员	奖励年度	奖励类别	奖励等级
模块化、系列化**技术研究	熊继军、张文栋、焦新泉、马喜宏、任勇峰、文丰、甄国涌,刘文怡、刘俊、沈三民	2011	国家科学技术进步奖	二等奖
纳机电**水听器	张文栋,熊继军,薛晨阳,张斌珍,刘俊,石云波	2010	国家技术发明奖	二等奖
**传感器与实时数据压缩储存动态测试系统	张文栋,刘俊,李永红,熊继军,翟成瑞,张斌珍	2003	国家技术发明奖	二等奖
机械能-电能-化学能转换效应增强机制及传感应用研究	何剑、侯晓娟、余俊斌、穆继亮、丑修建	2022	山西省自然科学奖	一等奖
面向分子微弱光谱信号检测的表面等离激元增强机理及调控方法研究	张志东、张中月、王勇凯、薛晨阳、闫树斌	2022	山西省自然科学奖	二等奖
耐高温宽频、超高声压噪声传感器件及应用	郑永秋、李圣昆、薛晨阳、张文栋、白建东、刘东海	2022	山西省技术发明奖	二等奖
无人飞行器快机动高性能复合抗干扰控制理论与方法	邵星灵,王宏伦	2021	山西省自然科学奖	二等奖
自驱动智能感知微系统技术及应用	丑修建、穆继亮、何剑、候晓娟、贾巍、王顺	2021	山西省技术发明奖	一等奖
耐高温压力传感器件设计、制造及其测试系统关键技术研究	熊继军、谭秋林、梁庭、贾平岗、洪应平、李晨	2020	山西省技术发明奖	一等奖
敏感纳米结构及其红外光学器件集成与应用技术	谭秋林、熊继军、毛海央、董和磊、明安杰、张文栋	2020	山西省高校优秀成果奖	一等奖
红外光学气体传感器关键器件集成制造及其测量应用关键技术研究	谭秋林、梁晓瑞、熊继军、薛晨阳、张文栋、毛海央	2020	中国发明协会发明创业成果奖	一等奖
半捷联惯性基位姿测量系统及应用	李杰、刘俊、冯凯强、张晓明、石云波、郭涛	2020	山西省技术发明奖	二等奖
纳米黑硅森林结构制造及其集成的器件与应用关键技术研究	谭秋林、毛海央、明安杰、熊继军、董何磊、雷程	2019	山西省技术发明奖	二等奖
铁电功能材料基础效应及其MEMS器件应用研究	丑修建、何剑、耿文平、安坤、李海涛、董和磊	2018	山西省自然科学奖	一等奖
电子隧穿高灵敏力学传感器件	张斌珍、郭浩、段俊萍、唐军、赵锐、石云波	2018	山西省技术发明奖	二等奖
MEMS高量程加速度传感器及其标定测试系统	刘俊、唐军、石云波、马宗敏、张晓明、鲍爱达	2016	山西省技术发明奖	一等奖
面向危化气体监测的红外光学气体传感器及其系统研制	薛晨阳、谭秋林、梁庭、苏淑靖,张文栋、刘俊	2013	山西省技术发明奖	一等奖
复杂环境下多通道高可靠数据采集与存储设备	李锦明、马游春、张文栋、朱平、熊继军、刘俊、谭秋林、刘文怡	2012	山西省科学技术奖	二等奖
MEMS高Q值微谐振腔光学特性及其在传感领域的应用基础研究	闫树斌、张文栋、薛晨阳、刘俊、熊继军、英占	2012	山西省科学技术奖	三等奖
旋转微惯姿态测量系统	刘俊、张文栋、李杰、杨卫、石云波、任勇峰	2012	工信部科学技术奖	二等奖
基于红外光干涉技术的MEMS器件形貌测量方法与仪器	薛晨阳、丑修建、张会新、张文栋、梁庭、石云波	2011	山西省科学技术奖	二等奖
蟹形单质量块双驱动加速度计陀螺及集成姿态测试系统	刘俊,石云波,任勇峰,文丰,李杰,张文栋	2010	山西省科学技术奖	二等奖
模块化、系列化**	熊继军,张文栋,焦新泉,马喜宏,任勇峰,文丰,甄国涌,刘文怡,刘俊,沈三民,李锦明,孟令军,张斌珍,郭涛,秦丽	2010	山西省科学技术奖	一等奖
**飞行姿态测量系统	任勇峰,张文栋,文丰,刘俊,宋蔚皓	2010	山西省科学技术奖	三等奖
纳机电**水听器	张文栋,熊继军,薛晨阳,张斌珍,刘俊,石云波,温廷敦,张国军	2009	山西省科学技术奖	二等奖
微传感器轴心差角四点法与双弹头冲击差分法静动态特性测试技术	张文栋,刘俊,石云波,秦丽,熊继军,薛晨阳	2008	山西省科学技术奖	一等奖
MEMS加工平台能力评价标准与评估方法	张文栋,刘俊,石云波,秦丽,任勇峰,甄国涌,李锦明,郭涛,马喜宏,刘文怡	2007	教育厅高校科技	一等奖
基于拉曼光谱的园片级微结构应力测试方法与设备	熊继军,薛晨阳,张文栋,张斌珍,王红亮	2007	山西省科学技术奖	三等奖
射流管阀角位移及力特性测试设备	杨瑞峰,崔志琴,陈爱武,张世龙,侯文,武锦辉,张鹏,门晓	2007	山西省科学技术奖	二等奖
XX集成硅微加速计	郭涛,马喜宏,张文栋,刘俊,熊继军	2006	山西省科学技术奖	三等奖
**过载测试技术	张文栋,熊继军,马游春,翟成瑞,李锦明,秦丽,孟令军,张斌珍,郭涛,任勇峰	2005	山西省技术进步奖	二等奖
**快速成型系统	陈鸿,裴焕斗,刘增禄,朱林泉,白培康	2005	山西省技术进步奖	三等奖
**测试平台研究	李永红	2005	山西省技术进步奖	三等奖
**数据实时检测存储系统	刘俊,刘文怡,任勇峰,焦新泉,甄国涌	2005	山西省技术进步奖	三等奖
**测量系统研究	张文栋,熊继军,刘俊,郭涛,翟成瑞,孟令军,李锦明	2004	山西省技术进步奖	二等奖
**装置自动检测系统	张文栋,任勇峰,李永红,秦丽,熊继军,刘俊,翟成瑞,李锦民,孟令军,郭涛	2004	山西省技术进步委奖	二等奖
**技术	张文栋,刘俊,孟令军,郭涛,熊继军,翟成瑞,秦丽,李锦明,张斌珍,文丰,苏淑静,陈秀容	2004	教育部科技进步奖	二等奖
**动态数据测试系统	刘俊,张文栋,任勇峰,李锦明,翟成瑞	2003	山西省技术进步奖	三等奖
抗高过载固态记录器	张文栋,翟成瑞,李永红,熊继军,刘俊,秦丽,李锦明,郭涛	2002	山西省科技进步奖	二等奖

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